表面欠陥検査装置レーザースキャナー　SIRISシリーズ

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JENOPTIK Surface Inspection GmbH
Laser Scanner SIRISシリーズ

硝子（PDP・LCD等）・フィルム（TAC・AG・AR・位相差・拡散等）・紙・金属・プラスチック（RPJ）等について筋・傷・染み等の欠陥を検出します。（生産ライン対応可能）

SIRISシリーズは、高解像度テレセントリック・レーザ・システムを用いて高速で欠陥検出を行います。
主な用途としては、硝子(PDP・LCD用マザー硝子～蒸着状態まで各種)・光学フィルム（TAC・拡散・位相差・偏光・AG・AR等各種）・医療用フィルム・プラスチック関連・金属・紙・繊維・ウェハ等多品目に渡り、それぞれ傷（ひっかき傷・ぎざぎざ傷・エッジ破損等）染み・汚れ・気泡・打痕・すじ等検出できる種類も豊富です。
検出側も単体又は複数を選択でき、複数の場合は、角度依存性のある反射情報など洩れなく検出する事が可能です。これにより、欠陥検出精度が向上します。又、明視野・暗視野・透過・反射等様々な計測モードと、豊富なデータベースによりオペレーターにストレスを与えず、簡潔に欠陥検査が可能となりました。
このシステムにより、品質・歩留まりについて共に向上する事が可能となり、かつリアルタイム・プロセス補正等に役立ちます。

赤外線カメラと赤外線サーモグラフィのケン・オートメーション